涂膠顯影有哪些上市公司?
芯源微(688037):
主要生產光刻工序涂膠顯影設備和單片式濕法設備,其產品打破了國外壟斷,下游客戶覆蓋國內大部分LED芯片制造企業和高端封裝企業。
盛美上海(688082):
公司先后開發了前道半導體工藝設備,包括清洗設備、半導體電鍍設備、立式爐管系列設備、涂膠顯影Track設備、等離子體增強化學氣相沉積PECVD設備、無應力拋光設備;后道先進封裝工藝設備以及硅材料襯底制造工藝設備等。
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